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最后提出了实验中发现的问题，并对薄膜传感器的发展做出了展望。
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报道了一种体积小、热容低、灵敏度高、热响应速度快、不易受强磁场影响的新型碳膜电阻低温传感器。
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A multilayers thin film gas sensor of crox/ sno2 made by sol-gel method
溶胶－凝胶法制备CrO x／SnO2多层薄膜气体传感器
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The thin film sensor shows good repetition and stability in 3 weeks.
该薄膜传感器在3星期内显示了良好的重复性和稳定性；
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综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况。
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本文讨论了铂薄膜温度传感器的设计、制造工艺、膜料与衬底及封装材料的关系。
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通过传感器的结构设计、敏感材料和封装材料的研制以及采用新的传感器制备工艺，制作了一种新型的薄膜式锰铜传感器。采用熔融石英材料作为绝缘基板。
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研究表明Pt-DEB薄膜QCM传感器在室温下对于瓦斯气体CH4的敏感特性，发现对CH4气体发生吸附过程后，很难回到初始频率，并且对不同浓度的瓦斯气体响应灵敏度呈非线性。
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研究讨论了硅一体化微机械结构型薄膜微电极电化学传感器件的稳定性及其相关的电化学问题.
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针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题，开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料。
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本文论述了薄膜磁敏元件对基片的要求，依此要求选择硅和高密度铁氧体为基片，上面制备SiO2作绝缘膜。
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化爆材料动态切削温度的薄膜热电偶测量原理及传感器研制
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高分子电阻型薄膜湿度传感器&元件构造、老化机理、感湿机理探讨
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该传感器具有测量快速灵活、所需样品少、动态范围宽等特点，因为把电位信号转化为对光激发的交流电流信号进行测量，所以提高了灵敏度。
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Development and Investigation Trends of Alloy Thin Film Piezoresistive Sensor
合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展
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P型金属氧化物半导体的掺杂量会影响纳米薄膜气敏元件对硫化氢的灵敏度。
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